Beth yw plât sgleinio wafer ceramig alwmina purdeb uchel?

Gyda datblygiad cyflym y diwydiant lled-ddargludyddion, mae graddfa'r diwydiant wedi cynyddu'n gyflym, ac mae offer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion wedi parhau i esblygu i fod yn fanwl gywir ac yn gymhleth. Gan fod gan serameg fanteision caledwch uchel, modwlws elastigedd uchel, ymwrthedd gwisgo uchel, inswleiddio uchel, ymwrthedd cyrydiad, ehangu isel, ac ati, gellir ei ddefnyddio fel rhannau o beiriant sgleinio silicon, offer trin gwres epitacsial/ocsidiad/trylediad, peiriant lithograffeg, offer dyddodiad, offer ysgythru lled-ddargludyddion, peiriant mewnblannu ïonau ac offer arall, felly mae ymchwil a datblygu a chynhyrchu rhannau cerameg manwl gywir yn effeithio'n uniongyrchol ar ddatblygiad y diwydiant lled-ddargludyddion. Mae'r gofynion technegol ar gyfer ei baratoi yn mynd yn uwch ac uwch.

Alwmina purdeb uchel, alwmina 99.7%-99.9%.
Cryfder mecanyddol uchel, ymwrthedd gwisgo uchel, inswleiddio trydanol uchel, sefydlogrwydd cemegol uchel, ymwrthedd gwres da a gwrthiant cyrydiad. Ar hyn o bryd, y dull malu mwyaf uwchraddol a mwyaf arloesol yw defnyddio disg malu ceramig i falu'r wafer silicon wedi'i thorri. Defnyddir y broses malu ddwy ochr i falu'r wafer silicon wedi'i thorri, ac mae ansawdd y wafer malu yn cael ei wella trwy wella'r broses malu (deunydd y ddisg, hylif malu, pwysau malu a chyflymder malu, ac ati). Yn benodol, gall defnyddio platiau ceramig yn lle platiau haearn bwrw, er mwyn osgoi malu ar brif wyneb y wafer a achosir gan greithiau neu lygredd, lleihau cyflwyno ïonau metel, lleihau prosesu silicon dilynol, byrhau amser y broses ddilynol (cyrydiad), gwella effeithlonrwydd cynhyrchu, a lleihau colli prosesu silicon, gwella'r defnydd o silicon yn fawr.

Plât caboli wafer alwmina uchelyn cael ei ddefnyddio mewn diwydiannau lled-ddargludyddion, petrolewm, cemegol, ffotofoltäig, crisial hylif a diwydiannau eraill, megis rhannau mecanyddol, rhannau electronig, disg sefydlu microdon, deunyddiau inswleiddio a rhannau eraill, dyfeisiau lled-ddargludyddion, offer gwactod, offer gweithgynhyrchu crisial hylif a rhannau eraill. Mae gan serameg alwmina maint mawr a phurdeb uchel werth cymhwysiad pwysig yn y diwydiant saffir a'r diwydiant sglodion lled-ddargludyddion. Mae'n gefnogaeth allweddol ac yn ddefnydd traul ar gyfer caboli mecanyddol cemegol (CMP) o waferi silicon saffir a lled-ddargludyddion. Gellir defnyddio serameg alwmina maint mawr a phurdeb uchel hefyd fel swbstrad alwmina ar gyfer LCD.